| Gsemi-S系列 | |
| 植 球 精 度 | ±20 |
| 植球能力范围 | ≥150um |
| 漏 球 率 | ≤0.01%（正常产品无翘曲） |
| 最大产品尺寸 | 基板：300*300mm 晶圆：4/6/8/12英寸 |
| 最小产品尺寸 | 基板：50*50mm 晶圆：4/6/8/12英寸 |
| 产品厚度尺寸 | 基板：0.4~6mm（含载具） 晶圆：≥200μm |
| 钢网框架尺寸 | 550*650mm~737*737mm(厚度：20：40mm） |
| 传输方向 | 左进右出、右进左出、同进同出 |
| 清洗方式 | 粘轮+真空吸+离子风 |
| 功率要求 | AC：220 ±10%, 50/60Hz 2.2KW |
| 设备尺寸 | L1240mm*W1410mm*H1500mm(不含三色灯） |
