| Climber系列全自动晶圆植球整线 | |
| 植球精度 | ±20 |
| 植球能力范围 | ≥150um |
| 漏球率 | ≤0.01%（正常产品无翘曲） |
| 最大晶圆尺寸 | 12英寸 |
| 最小晶圆尺寸 | 4英寸 |
| 晶圆厚度尺寸 | 0.1~6mm |
| 钢网框架尺寸 | 650*750mm(厚度：20-40mm） |
| 传输方向 | 机械手、同进同出 |
| 定位方式 | 寻边机（中转机器人自带） |
| 清洗方式（印刷） | 干擦、湿擦、真空擦、高速清洗 |
| 清洗方式（植球） | 植球干擦+粘轮+真空吸+离子风 |
| 整线功率要求 | AC:220 ±10%, 50/60Hz 4KW |
| 整线设备尺寸 | L2855mm*W1410mm*H1495mm(不含三色灯） |
